Máy đo độ elip

Khi ánh sáng chiếu vào mẫu, ánh sáng sẽ phản xạ từ bề mặt của mẫu. Ánh sáng phản xạ có thể được tách thành hai thành phần, phân cực p và phân cực s, và vì trạng thái phân cực này thường trở thành hình elip nên phương pháp đo này được gọi là phép đo elip. Bằng cách thay đổi bước sóng của ánh sáng chiếu vào mẫu và đo độ lệch pha Δ (delta) và tỷ số biên độ Ψ (psi) của ánh sáng phản xạ, có thể đánh giá hằng số quang học và độ dày màng của mẫu.

Vì đây là phép đo quang học nên không phá hủy và thời gian đo ngắn, do đó có thể đánh giá không chỉ màng mỏng đã hoàn thiện mà còn cả quá trình tạo màng mỏng trong quá trình chuẩn bị (đo tại chỗ). Bằng cách lựa chọn bước sóng ánh sáng được áp dụng, có thể đánh giá không chỉ hằng số quang học và độ dày màng mà còn cả độ phản xạ, độ truyền qua, cấu trúc dải, mật độ hạt mang và các đặc tính khác.

Vì ánh sáng phản xạ được đo nên cần phải đo độ phẳng của bề mặt. Giới hạn này được cho là một phần nhỏ của bước sóng ánh sáng được chiếu vào. Ngoài ra, màng kim loại mỏng hấp thụ ánh sáng cũng làm giảm lượng ánh sáng phản xạ, khiến việc đo lường trở nên khó khăn. Mặc dù tùy thuộc vào loại kim loại, giới hạn đo lường thường là độ dày màng khoảng vài trăm nm. Khi nhiều lớp màng được xếp chồng lên nhau, có thể đo được độ dày của từng lớp màng. Tuy nhiên, trong những trường hợp như vậy, có thể cần phải ước tính các lớp giao diện tồn tại giữa các màng và phải tạo một mô hình để thực hiện mô phỏng tính toán. Điều này có thể làm phức tạp hóa các phép tính và khiến kết quả khó diễn giải.

Số hiệu thiết bị: SE-2000 Công ty TNHH Semilab Nhật Bản
Ngày giới thiệu: Tháng 2 năm 2016

Đo độ dày màng và hằng số quang học: 6.400 yên cho mỗi mẫu, mỗi điểm đo

• Phí xét nghiệm, phân tích hoặc chuẩn bị đòi hỏi vật liệu, nhân công đặc biệt, v.v. và phí nghiên cứu hoặc điều tra sẽ tương đương với chi phí thực tế.
• Riêng đối với những vấn đề cần hành động khẩn cấp do thời hạn quy định, số tiền phí hoặc tiền bản quyền sẽ gấp đôi số tiền quy định ở trên.
• Phí theo yêu cầu của người có văn phòng hoặc địa điểm kinh doanh trong Thành phố Yokohama và không phải là doanh nghiệp vừa và nhỏ theo định nghĩa tại Điều 2 của Luật cơ bản về doanh nghiệp vừa và nhỏ (trang web bên ngoài), hoặc phí thử nghiệm phim bằng cách đo độ dày phim và hằng số quang học theo yêu cầu của người không có văn phòng hoặc địa điểm kinh doanh trong Thành phố Yokohama và không phải là doanh nghiệp vừa và nhỏ theo định nghĩa tại cùng điều khoản là 1,3 lần số tiền quy định (nếu có phần lẻ nhỏ hơn 100 yên, phần lẻ đó sẽ được làm tròn lên 100 yên). Chúng ta hãy giả sử rằng.