Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường

Khi chùm electron do súng electron tạo ra được chiếu vào mẫu, các electron thứ cấp sẽ được tạo ra từ bề mặt. Bằng cách phát hiện các electron thứ cấp này, có thể quan sát được sự bất thường và hình thái của bề mặt mẫu.

Do các quan sát được thực hiện trong môi trường chân không cao nên có thể quan sát các khu vực cực nhỏ ở độ phóng đại hàng trăm nghìn lần, tùy thuộc vào tình trạng của mẫu.

Vì buồng mẫu có độ chân không cao nên bất kỳ thứ gì có thể phát ra khí (bao gồm cả độ ẩm) đều không được phép đặt vào buồng quan sát. Ngoài ra, vì mẫu được chiếu chùm electron nên các mẫu không dẫn điện phải được phủ một lớp kim loại mỏng trên bề mặt như Au (độ phóng đại thấp) hoặc Pt (độ phóng đại cao) trước khi đo. Bề mặt của mẫu sẽ sinh ra nhiệt khi có dòng điện chạy qua, điều này có thể khiến bề mặt của các mẫu nhạy nhiệt bị tan chảy hoặc cháy.

Số hiệu thiết bị: JSM-7800F Prime do JEOL sản xuất
Ngày giới thiệu: Tháng 2 năm 2017

Hình 1 Phim ITO được tạo ra bằng phương pháp sol-gel
(Độ phóng đại: 80.000 lần)

• Phí xét nghiệm, phân tích hoặc chuẩn bị đòi hỏi vật liệu, nhân công đặc biệt, v.v. và phí nghiên cứu hoặc điều tra sẽ tương đương với chi phí thực tế.
• Riêng đối với những vấn đề cần hành động khẩn cấp do thời hạn quy định, số tiền phí hoặc tiền bản quyền sẽ gấp đôi số tiền quy định ở trên.
• Số tiền phí hoặc lệ phí sử dụng cho các yêu cầu từ những người có văn phòng hoặc địa điểm kinh doanh trong Thành phố Yokohama và không phải là doanh nghiệp vừa và nhỏ theo định nghĩa tại Điều 2 của Luật cơ bản về doanh nghiệp vừa và nhỏ (trang web bên ngoài) sẽ là 1,3 lần số tiền quy định (nếu có phần lẻ nhỏ hơn 100 yên, thì phần lẻ đó sẽ được làm tròn lên thành 100 yên). Chúng ta hãy giả sử rằng.
• Số tiền phí hoặc lệ phí sử dụng liên quan đến yêu cầu từ người không có địa chỉ tại Thành phố Yokohama hoặc cá nhân, tập đoàn hoặc tổ chức khác không có văn phòng hoặc cơ sở kinh doanh tại thành phố sẽ là 1,5 lần số tiền quy định (nếu có phần lẻ nhỏ hơn 100 yên, phần lẻ đó sẽ được làm tròn lên đến 100 yên gần nhất). Chúng ta hãy giả sử rằng.